一、熒光光譜儀優點

1、分析速度快。 測量時間與測量精度有關，但一般很短，2～5分鐘即可測完樣品中所有待測元素。

2、熒光光譜與樣品的化學鍵合狀態無關，與固體、粉末、液體、結晶、無定形等物質的狀態基本無關。  （氣體即使密封在容器中也可以進行分析，但在高分辨率精密測量中，可以觀察到波長變化。這種效果尤其在超軟 X 射線范圍內更為明顯。波長變化用于測定 化學勢。

3、無損分析。 測量過程中化學狀態不發生變化，不發生樣品散射現象。 同一個樣品可以重復測量，結果具有重現性。

4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，因此也可以分析屬于同一族的元素的化學性質。

5、分析精度高。

6、樣品制備簡單，可分析固體、粉末和液體樣品。

二、熒光光譜儀的缺點

1、分析難度大，定量分析需要標準樣品。

2、對輕元素的敏感性較低。

3、易受元素相互干擾和疊加峰的影響。